旋片真空泵通过偏心安装的转子与定子固定面相切,形成一个或多个(通常为径向)滑动的旋片系统,与定子内壁接触,将泵腔分割成多个可变容积空间。这种设计使得旋片真空泵能够在101325至1.33×10^-2帕斯卡范围内工作,是一种适用于低真空应用的机械真空泵。
旋片式真空泵广泛应用于冶金、电子、化工等领域,其结构原理允许其抽除密封容器中的干燥气体,并且可以搭配气镇装置抽取一定量的可凝性气体。不过,它并不能处理含氧过高、腐蚀性气体或含有颗粒物质的混合物。
作为一款基础的真空设备,旋片式真空泵通常是中小型设备,可以配置单级或双级,以达到更高的抽速和更优良的压力比。双级设计将两个单级泵串联起来,提高了整体性能。
为了保证稳定的运作,旋片真空泵必须满足特定的操作条件。在入口压强为1333帕斯卡、1.33帕斯卡以及1.33×10^-1帕斯卡时,其抽速值分别不得低于名义抽速90%、50%和20%。
这些机能由主要部件组成:包括精密制造的大型金属材料制成的地基主体、具有特殊设计角度的小型金属材料制成的地基主体,以及带有微小间隙地圆形部分装饰在其中。这个精巧构造确保了每一次转动都能保持完美平衡,从而实现有效而持久地使用这些部件。此外,还有一些附加功能,如润滑油涂层,这样就可以减少摩擦并防止机械磨损,从而延长整个系统使用寿命。