中小型空分设备深冷制氧机低温精馏制氧详细说明如下：
产品：高纯度氧气和氮气
产量：
氧气：1000Nm3/h
氮气：2000Nm3/h
纯度：
氧气≥99.6%
氮气≥99.999%
压力范围：0.1~15MPa
运作周期：2年
开机时间连续24小时/天
加温解冻时间需24小时完成
电源电压需求10KV等级
设备重量约为40吨
以下是该装置的流程简述：
本装置采用带风机制动透平膨胀机流程，依循正返流膨胀双塔制氧工艺。
首先，原料空气在过滤器中除去了灰尘和机械杂质后进入空気压缩机，压缩至大约1.0MPa。随后，压缩后的空氣经过预冷机组冷却至5-10℃左右，并达到饱和状态。
接着，饱和的压缩空氣進入交替使用的分子筛吸附器，在那里原料空氣中的水分、CO2、C2H2等碳氢化合物被分子筛吸附。净化后的加工空氣，一部分作为仪表用途抽出；其余部分进入主换热器，被膨胀后的污氮冷却至饱和温度并有一定含湿量，然后被冷却后的空氣进入下塔底部参与精馏，在上塔底部获得液氧。
接下来，将液体富氧通过蒸发侧进行蒸发，再经由主换热器与氮气混合，加热到115K时抽出，并输入透平膨胀机进行再次膨胀制冷。膨胀后的富氧-air mixture输入主换热器，再次复热到常温排出，以供储存；其中一部分用于再生分子筛吸附器，其余则放弃利用。
最后，由于塔底部获得的液体形式的二氧化锰，则从此处以节流方式调整至所需压力后排出并贮存于储槽内。
