旋片真空泵通过其独特的结构,实现了高效的真空抽取。它采用偏心转子的设计,使得与之相接触的旋片在定子内壁上滑动,形成多个可变容积空间,从而达到旋转变容的目的。这些空间之间通常通过油作为密封材料,以确保泵的密封性能。
旋片真空泵广泛应用于冶金、机械制造、电子行业、化工生产等领域,它能够有效地抽除气体中的干燥气体和少量可凝性气体。但是,它并不适合处理含有氧气过高或易腐蚀金属、会与泵油产生化学反应以及含有大量颗粒物质的气体。
此类真空泵通常分为单级和双级两种形式,其中双级结构通过将两个单级泵串联起来,可以进一步提高真vacuum度。此外,根据不同工作条件,旋片真空泵需要保持一定的抽速率,以确保其正常运作。在不同的入口压强下,其最低允许抽速率也会有所差异。
一个典型的旋片式真vacuum泵由多个关键部件组成,如泵壳、偏心安装的心形叶轮(转子)、带弹簧支持的一对或多对滑动叶轮(主打产品)以及端盖。其中,心形叶轮与内腔表面几乎相切,而带弹簧支撑的小圆环状叶轮则在槽中自由滑动。当转子高速旋转时,由于离心力和弹簧张力的作用,这些小圆环状叶轮紧贴着内壁移动,与它们周围形成稳定的隔绝区间。
随着转子的连续运动,每一段隔绝区域都经历了膨胀-吸入-压缩-排放过程。由于每一段区域逐渐膨胀并降低压强,最终导致外界环境中更高压力的气体被吸入。而当这一区域与吸引口断开后,被排出的gas就开始被进一步压缩,并最终排出到大气中。这整个过程是连续进行,以实现持续性的gas抽取。如果需要更深层次true vacuum度,可以将排出的gas通过另一台具有更高压强限制能力的大型true vacuum设备再次处理,即构成了复合系统。这时候整体上的增益主要来自第二台设备,对第一台设备增加了一定的负担,但同时提升了整套系统能提供到的极限true vacuum度水平。