旋片真空泵通过偏心安装的转子与定子固定面相切，形成多个（或以上）旋片在转子槽内滑动，与定子内壁接触，将泵腔分为可变容积空间。通常，旋片与泵腔之间的间隙以油作为密封，使其成为油封式机械真空泵。这种真空泵适用于101325至1.33×10-2帕斯卡范围内的低真空应用，可以单独使用，也可以作为高级或中级真空设备前端。
旋片式真空泵主要用于抽除干燥气体，并且具有气镇功能，能够抽取一定量的可凝性气体。但它不适合处理含有氧过高、对金属有腐蚀性的、对机油会起化学反应以及含有颗粒尘埃的气体。
这类真空泵是现代实验室和工业生产中的基本设备，它们通常是中小型化设计，有单级和双级两种结构。在双级设计中，两个单级模块串联起来，以提高最终获得的 真实度。
根据制造商提供的规格，在入口压强分别为1333帕斯卡、1.33帕斯卡及1.33×10-1（Pa）时，其理论抽速值应保持在名义速度之下的90%、50%及20%范围内。
旋片真空泵由几个关键部件组成：主体结构、中轴偏心安装转子、二个带弹簧支持的滑动环，以及端盖和弹簧等配件。当转子高速运转时，由于离心力和弹簧张力的共同作用，这些环紧贴着内部表面移动，使得三个部分隔离成A、B和C区域。随着转子的运动，每个区域都经历了膨胀、高压缩再到排放过程，而每一次循环都保证了连续不断地抽取过程。此外，当需要更高程度精确控制时，可以通过增加额外环节来提升系统性能，从而实现更加完善的地理环境调控能力。
