半导体之父
在了解芯片材料之前,我们必须先知道半导体是如何诞生的。1950年代,美国物理学家约翰·巴丁、沃尔特·布拉顿和威廉·肖克利独立地发现了半导体在电子设备中的应用,他们因此获得了诺贝尔物理学奖。这三位科学家的研究奠定了现代微电子技术的基础。
硅基晶圆
目前市场上最常用的芯片制造材料是硅。硅是一种无机非金属元素,在自然界中存在于岩石和沙子中。为了制作高质量的晶圆,需要从纯净度极高的硅矿石中提取出纯净度极高的单晶硅,然后通过精细加工制成具有特定结构和电性质的晶圆。
金属化合物二氧化锰(MOCVD)
MOCVD是一种用于制造芯片所必需的一种薄膜沉积技术。在这个过程中,通过化学气相沉积法,将稀有金属或其他有机分子蒸汽喷射到热处理区,并与反应气体发生化学反应,从而形成在某一固态表面上的薄层,这些薄层通常用于制造集成电路中的绝缘层或者激光器等光电子器件。
钽钛酸铝(PTA)及其衍生物
PTA是一种常用作触发剂、催化剂以及颜料等领域,但在微电子行业,它被用来制作掩模,即刻印制图案到光刻胶上。在这个过程中,PTA作为一种敏感物质,与紫外线照射时会产生化学变化,从而改变其透明度,从而实现对光刻胶图案进行显影,使得未被覆盖区域可以更容易地去除。
高性能陶瓷母版材料
母版是整个集成电路制造流程中的关键步骤之一,它决定着最终产品能否达到预期性能。在此过程中,一些特殊类型的陶瓷母板起到了至关重要的地位,如Al2O3-AlN陶瓷母板等。这些材质因其优异的耐磨性、高温稳定性、良好的机械性能以及低介电损耗率,被广泛应用于高速数字集成电路、高频集成电路及传感器等领域。